日本日立掃描電子顯微鏡FlexSEM 1000概述

日立高新技術(shù)公司于2016年4月15日在全球發(fā)布了新型掃描電子顯微鏡——FlexSEM 1000。該產(chǎn)品結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小，但分辨率不輸大型電鏡，同時操作極其簡便，幾乎不用培訓(xùn)就可操作。緊湊型設(shè)計，分辨率為4 nm。

掃描電子顯微鏡可對材料的表面進行高倍率觀察及高精度元素分析，在納米技術(shù)、生命科學(xué)、產(chǎn)品設(shè)計研發(fā)及失效分析等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。 近年來，掃描電鏡觀察表面精細結(jié)構(gòu)及元素分析的需求日趨增加，而越來越多的用戶希望能在生產(chǎn)線、品保檢驗線和辦公區(qū)等有限的空間里使用掃描電子顯微鏡。因此，體積小、操作簡便、分辨率高的掃描電子顯微鏡備受關(guān)注。FlexSEM 1000主機寬450mm、長640mm，相比SU1510型號體積減小52%，重量減輕45%，功耗減小50%，且配備標準化的電源接口。主機與供電單元可分離，安裝非常靈活。

FlexSEM 1000采用樶新設(shè)計的電子光學(xué)系統(tǒng)和高可靠性、高靈敏度的探測器，分辨率高達4nm。FlexSEM 1000有多種自動化功能，操作簡便，即便是初次操作者也能快速拍出高質(zhì)量圖像。另外，新開發(fā)的導(dǎo)航功能「SEM MAP」可使用各種光學(xué)圖片或電鏡照片進行導(dǎo)航，一鍵就快速精準地切換至感興趣的高倍率視野。

日本日立掃描電子顯微鏡FlexSEM 1000特點

★ 緊湊型設(shè)計，分辨率為4 nm*1
★ 通過高靈敏度二次電子探測器，背散射探測器，低真空探測器(UVD*2)，實現(xiàn)低加速電壓/低真空下高質(zhì)量圖像觀察
★ 操作簡捷，即使新手也能拍出高質(zhì)量的圖片
★ 新開發(fā)的導(dǎo)航功能「SEM MAP」，便于快速鎖定視野
★ 大窗口(30 mm2)SDD能譜系統(tǒng)，便于快速分析元素成分*2
*1設(shè)置在桌面時，分離主機和電源箱
*2選配